真空技术装备国家工程研究中心（简称“工程中心”），前身为2008年11月18日国家发改委（“发改办高技[2008]2646号”）批准成立的真空技术装备国家工程实验室，于2021年12月20日由国家发改委（“发改办高技[2021]1022号”）批准纳入新序列管理，是目前我国真空领域唯一的国家工程研究中心。该工程中心旨在围绕大规模集成电路、高性能材料等产业对先进真空装备的需求，开展洁净真空获得技术、洁净真空部件制备、洁净真空密封技术等研究，突破典型重大关键装备及成套工艺、核心零部件与子系统制备技术，研制先进真空技术成套装备，提升我国真空技术领域的国际竞争力。近年来，工程中心承担国家科技重大专项（02专项/04专项）、国家重点研发计划项目、国家科学仪器重大专项、国家自然科学基金重点项目及省（部）、市等科技项目150余项，发表论文700余篇，授权专利400余项，起草制定国际/国家标准10余项，50余项成果实现应用转化。
该研究中心的主要功能包括：为以洁净真空技术为基础的先进真空装备发展提供共性技术创新的中间实验验证平台，成为实现应用基础研究与产业化有机衔接的桥梁和纽带；在国家层面构建真空技术装备的技术创新和技术支撑体系，为集成电路、生物医药、高性能材料、重大科学装置等重点产业的发展提供支撑和服务；并为真空产业发展提供具有自主知识产权的长期技术保障，满足我国真空产业的创新迭代及国家战略需求。
工程中心实行理事会领导下的研究中心主任负责制，该工程中心的法人单位为中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，共建单位为北京中科科仪股份有限公司，东北大学和中国科学技术大学。作为该工程中心的重要组成部分，东北大学建设有真空干泵正向设计装配与测试实验室、新能源动力电池真空装备实验室、真空计量与空间科学地面模拟实验室及表面结构原位表征分析科学中心等平台。我校机械工程与自动化学院巴德纯教授是该工程中心的主要学术带头人，刘坤教授、王晓冬教授担任该工程中心的学术委员会委员。
工程中心理事会理事单位包括：辽宁省发展和改革委员会、沈阳市发展和改革委员会、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、北京中科科仪股份有限公司、东北大学、中国科学技术大学、沈阳真空技术研究所有限公司等。工程中心下设运营管理部、知识产权办公室、标准化办公室以及项目组。研究中心拥有一支实力雄厚、结构合理、具有国际影响的研究队伍，通过实施创新、开放、共赢的产学研长效合作机制，将进一步加快突破重点产业发展的瓶颈制约。